Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal

Didoborets, Oleksandr; Дідоборець, Олександр Йосипович; Klietskov, Oleksandr; Клєцков, Олександр Миколайович; Tsotsko, Vitalii; Цоцко, Віталій Іванович

Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371

Title:	Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal
Other Titles:	Неоднорідність плівок отриманих методом термічного випаровування та способи їх усунення
Authors:	Didoborets, Oleksandr Дідоборець, Олександр Йосипович Klietskov, Oleksandr Клєцков, Олександр Миколайович Tsotsko, Vitalii Цоцко, Віталій Іванович
Keywords:	superficial source поверхневе джерело speed of besieging швидкість осадження vaporize випарник підкладка lining
Issue Date:	2020
Publisher:	Дніпровський державний технічний університет
Citation:	Dedoborez A. Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal / A. Dedoborez, A. Kletskov V. Tsotsko // Математичне моделювання. – 2020. – № 2(43). – С.100-104. – Режим доступу : https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371
Abstract:	The considered problem of heterogeneities of the got semiconductor tapes and worked out methods of their removal are within the framework of the experimental setting of VCC-5M. Experimentally tested the got methods of removal of heterogeneities of товщин. Розглянута проблема неоднорідностей отриманих напівпровідникових плівок та розроблені способи їх усунення в рамках експериментальної установки ВУП-5М. Експериментально перевірена отримані способи усунення неоднорідностей товщин.
URI:	http://matmod.dstu.dp.ua/article/view/219345 https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371
ISSN:	ISSN 2519-8106 (Print), eISSN 2519-8114
Appears in Collections:	Наукові статті

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
219345-496256-1-SM.pdf		230,12 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record

Дніпровський державний аграрно-економічний університет