Дніпровський державний аграрно-економічний університет
(ДДАЕУ) — ВНЗ у Дніпрі. Розташований у Нагірній частині Дніпра за адресою: 49600, Дніпропетровська обл., м. Дніпро, вул. Сергія Єфремова, 25.
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371| Назва: | Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal |
| Інші назви: | Неоднорідність плівок отриманих методом термічного випаровування та способи їх усунення |
| Автори: | Didoborets, Oleksandr Дідоборець, Олександр Йосипович Klietskov, Oleksandr Клєцков, Олександр Миколайович Tsotsko, Vitalii Цоцко, Віталій Іванович |
| Ключові слова: | superficial source поверхневе джерело speed of besieging швидкість осадження vaporize випарник підкладка lining |
| Дата публікації: | 2020 |
| Видавництво: | Дніпровський державний технічний університет |
| Бібліографічний опис: | Dedoborez A. Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal / A. Dedoborez, A. Kletskov V. Tsotsko // Математичне моделювання. – 2020. – № 2(43). – С.100-104. – Режим доступу : https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371 |
| Короткий огляд (реферат): | The considered problem of heterogeneities of the got semiconductor tapes and worked out methods of their removal are within the framework of the experimental setting of VCC-5M. Experimentally tested the got methods of removal of heterogeneities of товщин. Розглянута проблема неоднорідностей отриманих напівпровідникових плівок та розроблені способи їх усунення в рамках експериментальної установки ВУП-5М. Експериментально перевірена отримані способи усунення неоднорідностей товщин. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://matmod.dstu.dp.ua/article/view/219345 https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371 |
| ISSN: | ISSN 2519-8106 (Print), eISSN 2519-8114 |
| Розташовується у зібраннях: | Наукові статті |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 219345-496256-1-SM.pdf | 230,12 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.