1. Дніпровський державний аграрно-економічний університет
  2. Наукові публікації
  3. Наукові статті
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371
Повний запис метаданих
Поле DCЗначенняМова
dc.contributor.authorDidoborets, Oleksandr-
dc.contributor.authorДідоборець, Олександр Йосипович-
dc.contributor.authorKlietskov, Oleksandr-
dc.contributor.authorКлєцков, Олександр Миколайович-
dc.contributor.authorTsotsko, Vitalii-
dc.contributor.authorЦоцко, Віталій Іванович-
dc.date.accessioned2023-04-13T06:44:36Z-
dc.date.available2023-04-13T06:44:36Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationDedoborez A. Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal / A. Dedoborez, A. Kletskov V. Tsotsko // Математичне моделювання. – 2020. – № 2(43). – С.100-104. – Режим доступу : https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371uk
dc.identifier.issnISSN 2519-8106 (Print), eISSN 2519-8114-
dc.identifier.urihttp://matmod.dstu.dp.ua/article/view/219345-
dc.identifier.urihttps://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371-
dc.description.abstractThe considered problem of heterogeneities of the got semiconductor tapes and worked out methods of their removal are within the framework of the experimental setting of VCC-5M. Experimentally tested the got methods of removal of heterogeneities of товщин. Розглянута проблема неоднорідностей отриманих напівпровідникових плівок та розроблені способи їх усунення в рамках експериментальної установки ВУП-5М. Експериментально перевірена отримані способи усунення неоднорідностей товщин.uk
dc.language.isoenuk
dc.publisherДніпровський державний технічний університетuk
dc.subjectsuperficial sourceuk
dc.subjectповерхневе джерелоuk
dc.subjectspeed of besieginguk
dc.subjectшвидкість осадженняuk
dc.subjectvaporizeuk
dc.subjectвипарникuk
dc.subjectпідкладкаuk
dc.subjectlininguk
dc.titleHeterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removaluk
dc.title.alternativeНеоднорідність плівок отриманих методом термічного випаровування та способи їх усуненняuk
dc.typeArticleuk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.31319/2519-8106.2(43)2020.219345-
Розташовується у зібраннях:Наукові статті

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
219345-496256-1-SM.pdf230,12 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити
Показати базовий опис матеріалу Перегляд статистики


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.