Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal
| dc.contributor.author | Didoborets, Oleksandr | |
| dc.contributor.author | Дідоборець, Олександр Йосипович | |
| dc.contributor.author | Klietskov, Oleksandr | |
| dc.contributor.author | Клєцков, Олександр Миколайович | |
| dc.contributor.author | Tsotsko, Vitalii | |
| dc.contributor.author | Цоцко, Віталій Іванович | |
| dc.date.accessioned | 2023-04-13T06:44:36Z | |
| dc.date.available | 2023-04-13T06:44:36Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.description.abstract | The considered problem of heterogeneities of the got semiconductor tapes and worked out methods of their removal are within the framework of the experimental setting of VCC-5M. Experimentally tested the got methods of removal of heterogeneities of товщин. Розглянута проблема неоднорідностей отриманих напівпровідникових плівок та розроблені способи їх усунення в рамках експериментальної установки ВУП-5М. Експериментально перевірена отримані способи усунення неоднорідностей товщин. | uk |
| dc.identifier.citation | Dedoborez A. Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal / A. Dedoborez, A. Kletskov V. Tsotsko // Математичне моделювання. – 2020. – № 2(43). – С.100-104. – Режим доступу : https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371 | uk |
| dc.identifier.doi | https://doi.org/10.31319/2519-8106.2(43)2020.219345 | |
| dc.identifier.issn | ISSN 2519-8106 (Print), eISSN 2519-8114 | |
| dc.identifier.uri | http://matmod.dstu.dp.ua/article/view/219345 | |
| dc.identifier.uri | https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371 | |
| dc.language.iso | en | uk |
| dc.publisher | Дніпровський державний технічний університет | uk |
| dc.subject | superficial source | uk |
| dc.subject | поверхневе джерело | uk |
| dc.subject | speed of besieging | uk |
| dc.subject | швидкість осадження | uk |
| dc.subject | vaporize | uk |
| dc.subject | випарник | uk |
| dc.subject | підкладка | uk |
| dc.subject | lining | uk |
| dc.title | Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal | uk |
| dc.title.alternative | Неоднорідність плівок отриманих методом термічного випаровування та способи їх усунення | uk |
| dc.type | Article | uk |