Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal
Loading...
Date
Authors
Didoborets, Oleksandr
Дідоборець, Олександр Йосипович
Klietskov, Oleksandr
Клєцков, Олександр Миколайович
Tsotsko, Vitalii
Цоцко, Віталій Іванович
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Дніпровський державний технічний університет
Abstract
The considered problem of heterogeneities of the got semiconductor tapes and worked out methods of their removal are within the framework of the experimental setting of VCC-5M. Experimentally tested the got methods of removal of heterogeneities of товщин. Розглянута проблема неоднорідностей отриманих напівпровідникових плівок та
розроблені способи їх усунення в рамках експериментальної установки ВУП-5М. Експериментально перевірена отримані способи усунення неоднорідностей товщин.
Description
Citation
Dedoborez A. Heterogeneity of tapes got by method of thermal evaporation and methods of their removal / A. Dedoborez, A. Kletskov V. Tsotsko // Математичне моделювання. – 2020. – № 2(43). – С.100-104. – Режим доступу : https://dspace.dsau.dp.ua/handle/123456789/7371